市場上賣的最好的矽晶圓邊緣拋光機。 分為4個拋光部的結構,兼顧了加工的高穩定性和高效率,並且實現了空間上的節省。 而且,基於矽晶圓加工技術,對藍寶石玻璃、SiC、LT等脆性材料均可進行高效率高品質的邊緣拋光。