Fine Surface E-300

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市場上賣的最好的矽晶圓邊緣拋光機。
分為4個拋光部的結構，兼顧了加工的高穩定性和高效率，並且實現了空間上的節省。
而且，基於矽晶圓加工技術，對藍寶石玻璃、SiC、LT等脆性材料均可進行高效率高品質的邊緣拋光。