Fine Surface E-300UCS

Fine Surface E-300UCS

通過矽晶圓運送方法的大幅改良,實現了高生產效率。
為了滿足高品質洗淨的要求,設備搭載
SC-1洗淨機,同時利用Load Port方式,
實現設備的高密閉性,減少粉塵污染,符合客戶工藝的最嚴苛的要求。